上海東風(fēng)泵閥廠(chǎng)是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)電動(dòng)調節閥、氣動(dòng)調節閥、自力式調節閥、溫度控制調節閥、流量控制調節閥等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)廠(chǎng)家！
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公司名稱(chēng)：上海東風(fēng)泵閥廠(chǎng)
企業(yè)地址：上海市寶山區顧陳路459號
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文章來(lái)源：電動(dòng)調節閥廠(chǎng)家 發(fā)布時(shí)間：2020-02-12 12:57
電動(dòng)調節閥隔振設計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵對壓印光刻機的影響很大。電動(dòng)調節閥是一種減振器,用電動(dòng)調節閥隔離外界環(huán)境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻電動(dòng)調節閥單自由度隔振系統的隔振原理,確定電動(dòng)調節閥的剛度及隔振系統的固有頻率,隔振系統的固有頻率及隔振效率的理論結果與實(shí)際隔振系統的試驗結果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設計是合理可行的。
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